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CMP et nettoyage

Quelle méthode de nettoyage applique des ultrasons de la bande des MHz au liquide de nettoyage pour éliminer les fines particules de la surface des plaquettes ?

  1. AIncinération (ashing)
  2. BNettoyage mégasonique
  3. CRayage (scribe)
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Réponse : B. Nettoyage mégasonique

Le nettoyage mégasonique applique au liquide des ultrasons d'environ 1 MHz et détache les fines particules de la surface grâce à l'écoulement rapide du liquide (courant acoustique) et à une couche limite mince. Alors que les ultrasons de quelques dizaines de kHz brisent facilement les motifs fins par les chocs violents de l'implosion des bulles (cavitation), une fréquence élevée réduit ces chocs et élimine des particules de 0,1 µm et moins en limitant les dommages. Il est souvent associé au SC-1.

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