Was ist MCZ-Verfahren (CZ mit Magnetfeld)?

CZ-Variante, bei der ein Magnetfeld an den Tiegel angelegt wird, um die Konvektion der Schmelze zu unterdrücken. Die Sauerstoffkonzentration im Kristall lässt sich so leichter steuern; das Verfahren dient für Kristalle großen Durchmessers.

Japanische Bezeichnung: MCZ法(磁場印加CZ法)

Fachgebiet: Siliziumwafer

Vergleiche mit diesem Begriff

Verwandte Begriffe

Czochralski-Verfahren (CZ-Verfahren) DZ (Denuded Zone, defektfreie Zone) FZ-Verfahren (Zonenschmelzen) Gettern (Getterung) Ingot (Kristallblock) Kristallorientierung Monitorwafer Necking (Halsbildung) Sauerstoffausscheidungen (BMD) Segregationskoeffizient

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