Plaquettes de silicium
Dans un cristal CZ, comment appelle-t-on les variations périodiques en bandes de la concentration de dopant ou d'oxygène, dues notamment aux fluctuations de température à l'interface de croissance ?
- AStriations (stries de croissance)
- BEncoche
- CFacette
Afficher la réponse et l'explication
Réponse : A. Striations (stries de croissance)
Lors du tirage en rotation, la convection du bain et les fluctuations de température font varier périodiquement la vitesse de croissance et la quantité d'impuretés incorporées à l'interface de croissance. Il en résulte des striations, variations en bandes de la concentration de dopant ou d'oxygène, qui provoquent de faibles dispersions de résistivité. Dans le plan du wafer, elles apparaissent comme des motifs concentriques semblables à des cernes de croissance, et peuvent être réduites en freinant la convection par la méthode MCZ.