矽晶圓 高純度多晶矽的代表性製造方法是哪一種？ A博世(Bosch)法 B西門子法(以三氯矽烷的氫還原進行沉積) C鑲嵌(Damascene)法 查看答案與解析 正確答案：B. 西門子法(以三氯矽烷的氫還原進行沉積) 西門子法是使純度約98%的金屬矽與氯化氫反應成三氯矽烷(SiHCl3，沸點約32 ℃)，經蒸餾提高純度後，在加熱至約1100 ℃的矽棒上使其與氫反應，沉積出高純度的矽。如此製成純度達11N(99.999999999%)等級的多晶矽，作為CZ法等的原料。這是個耗電量很大的製程。