矽晶圓

以CZ法製造p型矽晶體時,添加到熔液中的代表性雜質是哪一種?

  1. A磷(P)
  2. B砷(As)
  3. C硼(B)
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正確答案:C. 硼(B)

要做成p型,需在熔液中添加III族元素的硼。硼的偏析係數約為0.8,接近1,晶錠上下的濃度比較一致,是容易處理的雜質。要做成n型時,則使用磷、砷、銻等V族元素。晶體的電阻率由添加量決定,LSI用多使用1〜20 Ω·cm左右的p型。

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