什麼是風險評估

找出作業或化學物質的危險性、有害性，估計其風險大小，並依優先順序決定對策的工作。

日文名稱: リスクアセスメント

「風險評估」出現在2領域的2道練習題中（良率與品質管理, 環境安全等）。

這個名詞所屬的領域: 環境安全

練習風險評估的題目

根據前一道製程的量測結果等，自動補正下一批次或晶圓的設備加工條件的控制，是下列何者？

  1. AFMEA
  2. B柏拉圖分析
  3. CAPC（Run-to-Run控制等）
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正確答案：C. APC（Run-to-Run控制等）

APC（Advanced Process Control，先進製程控制）是利用量測資料自動調整設備條件，以縮小製程變異的控制。在具代表性的Run-to-Run控制中，例如前一道製程量測到的膜厚偏厚，就會延長下一道CMP的時間。相對於監控異常並使其停止的SPC，這是一種主動補正、使其向中心靠攏的手法。FMEA用於事前的風險評估，柏拉圖分析則用於找出重點項目。

針對使用化學物質的作業，辨識其危險性與有害性、評估其風險大小並決定對策的作法，稱為什麼？

  1. A風險評估
  2. B統計製程管制
  3. C分級（binning）
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正確答案：A. 風險評估

在風險評估中，先以SDS等確認所使用化學物質的危險性與有害性，再從使用量與作業方法評估暴露或發生事故的可能性，進而決定對策。對策的優先順序為：替換成危險性較低的物質、以設備進行密閉或排氣、檢討作業程序、穿戴防護具。在日本，對於一定的化學物質有實施的義務。SPC與分級是品質或產品管理的手法。

解析中的「風險評估」

出現「風險評估」的題目（2題）

  1. 根據前一道製程的量測結果等，自動補正下一批次或晶圓的設備加工條件的控制，是下列何者？
  2. 針對使用化學物質的作業，辨識其危險性與有害性、評估其風險大小並決定對策的作法，稱為什麼？

相關名詞

SPC(統計製程管制) APC(先進製程控制) CMP(化學機械研磨) FMEA(失效模式與效應分析) 柏拉圖 SDS(安全資料表) 上鎖掛籤(LOTO) 全氟碳化物(PFC) 局部排氣裝置 缺氧

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