在CVD設備的腔體清潔中，從減少PFC排放的角度而被採用的方法，下列何者正確？

正確答案：B. 在設備外將NF3以電漿分解，並以產生的氟自由基有效率地清潔的遠端電漿方式

過去是將C2F6等PFC在腔體內電漿化來進行清潔，但問題在於未被分解就排出的量很多。遠端電漿方式是在設備外以95%以上的高效率分解NF3，只將氟自由基送入腔體，因此能大幅減少溫室氣體的排放，也能抑制腔體零件的損傷。不會增加C2F6的使用，也不會停止清潔。