蝕刻或設備清潔所使用的PFC（全氟碳化物）類排放被視為環境問題，其主要理由為下列何者？

正確答案：C. 因為是全球暖化潛勢大、在大氣中壽命長的溫室氣體

CF4或C2F6等PFC類的全球暖化潛勢為CO2的數千倍以上，其中CF4在大氣中的壽命約為5萬年，是壽命極長的溫室氣體。一旦排放，以人類的時間尺度而言不會消失，因此半導體業界透過廢氣處理設備分解、改用全球暖化潛勢較小的替代氣體、使用量最佳化等方式努力減少排放。它們並不是水質汙染或酸雨的主要成因物質。