パーフルオロカーボン란?
ぱーふるおろかーぼん
PFCとも。CF4やC2F6など、エッチングやチャンバーのクリーニングに使われるフッ素化合物のガス。温室効果が非常に大きい。
일본어 명칭: パーフルオロカーボン
분야: 환경·보건·안전
관련 용어
局所排気装置 酸素欠乏(酸欠) 除害装置 爆発下限界(LEL) GHS RoHS指令 SDS(安全データシート) リスクアセスメント ロックアウト・タグアウト(LOTO)
ぱーふるおろかーぼん
PFCとも。CF4やC2F6など、エッチングやチャンバーのクリーニングに使われるフッ素化合物のガス。温室効果が非常に大きい。
일본어 명칭: パーフルオロカーボン
분야: 환경·보건·안전
局所排気装置 酸素欠乏(酸欠) 除害装置 爆発下限界(LEL) GHS RoHS指令 SDS(安全データシート) リスクアセスメント ロックアウト・タグアウト(LOTO)