什麼是NF3(三氟化氮)
用於CVD設備腔體清潔等的氣體。全球暖化潛勢大，需要減少排放。
日文名稱: NF3(三フッ化窒素)
這個名詞所屬的領域: 製程材料（氣體與藥液）
相關名詞
矽烷(SiH4) 前驅物 特殊材料氣體 砷化氫(AsH3) 超純水 質量流量控制器(MFC) 磷化氫(PH3) TMAH(氫氧化四甲基銨)
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