パーフルオロカーボンとは

ぱーふるおろかーぼん

PFCとも。CF4やC2F6など、エッチングやチャンバーのクリーニングに使われるフッ素化合物のガス。温室効果が非常に大きい。

この用語の分野: 環境安全

「パーフルオロカーボン」が出てくる問題(1問)

  1. エッチングや装置のクリーニングに使われるPFC(パーフルオロカーボン)類の排出が環境上問題とされる主な理由はどれか。

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