NF3(三フッ化窒素)란?

えぬえふすりー

CVD装置のチャンバーのクリーニングなどに使われるガス。地球温暖化係数が大きく、排出の削減が求められる。

일본어 명칭: NF3(三フッ化窒素)

NF3(三フッ化窒素)은(는) CMP와 세정 등 1개 분야의 연습 문제 1개에 나와요.

분야: 공정 재료(가스와 케미칼)

도전해 보기: NF3(三フッ化窒素) 관련 문제

미세 구조의 붕괴를 막기 위해 액체를 사용하지 않고 표면의 자연 산화막 등을 제거하는 방법은?

  1. A브러시 스크럽 세정
  2. B기상 가스나 라디칼을 이용한 건식 세정
  3. C메가소닉 세정
정답과 해설 보기

정답: B. 기상 가스나 라디칼을 이용한 건식 세정

높고 가는 패턴에서는 세정액이 마를 때의 표면장력 때문에 패턴이 서로 끌려가 쓰러지는 경우가 있습니다. 불화수소 증기, NF3와 NH3 플라즈마로 생성한 라디칼(SiCoNi 처리) 등을 사용하는 기상(건식) 세정은 액체를 쓰지 않으므로 패턴 붕괴 우려가 없고, 증착 장비와 진공으로 연결하여 처리 직후 산화시키지 않고 다음 공정으로 진행할 수도 있습니다. 콘택트 바닥의 산화막 제거 등에 사용됩니다.

해설 속 NF3(三フッ化窒素)

NF3(三フッ化窒素)이(가) 나오는 문제 (1)

  1. 미세 구조의 붕괴를 막기 위해 액체를 사용하지 않고 표면의 자연 산화막 등을 제거하는 방법은?

관련 용어

超純水 特殊材料ガス TMAH アルシン(AsH3) シラン(SiH4) プリカーサ(前駆体) ホスフィン(PH3) マスフローコントローラ(MFC)

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