為了防止微細結構倒塌，不使用液體而去除表面原生氧化膜等的方法為下列何者？

正確答案：B. 使用氣相氣體或自由基的乾式清洗

在又高又細的圖案中，清洗液乾燥時的表面張力會把圖案拉在一起而使其倒塌。使用氟化氫蒸氣，或以NF3與NH3電漿產生的自由基（SiCoNi處理）等的氣相（乾式）清洗，因為不使用液體，所以無須擔心圖案倒塌，也可與沉積設備以真空相連，在處理後不經氧化直接進入下一個步驟。可用於接觸窗底部的氧化膜去除等。