矽晶圓

在CZ法中,對坩堝施加磁場以抑制熔液對流,進而控制氧濃度等的方法是哪一種?

  1. AFZ法
  2. BMCZ法(施加磁場的CZ法)
  3. C布里奇曼法
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正確答案:B. MCZ法(施加磁場的CZ法)

矽的熔液可導電,所以施加磁場時,流動的熔液會受到反方向的力(勞倫茲力)而抑制對流。在MCZ法中,藉此可以抑制從坩堝溶出的氧進入晶體,也能減少溫度波動而抑制成長條紋,提高晶體的均勻性。熔液多達數百kg的300 mm晶體對流劇烈,因此標準採用橫向磁場的MCZ法。

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