矽晶圓

在CZ晶體中,因晶體成長界面溫度波動等所產生的摻雜物或氧濃度的週期性條紋狀變化,稱為什麼?

  1. A條紋(striation,成長條紋)
  2. B缺口
  3. C刻面(facet)
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正確答案:A. 條紋(striation,成長條紋)

邊旋轉邊拉晶時,熔液的對流與溫度的波動會使成長界面上的成長速度與雜質進入量週期性地改變。結果就形成摻雜物或氧濃度呈條紋狀變化的條紋,成為電阻率微小變異的原因。在晶圓面內會呈現如年輪般的同心圓狀花紋,以MCZ法抑制對流即可減少。

  • A. 正確。是週期性的濃度條紋狀變化。
  • B. 缺口是晶圓外周的切口。
  • C. 刻面是指晶體的平坦面。
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