在成膜或蝕刻設備中，精密量測氣體流量並將其控制為定值的設備為下列何者？

正確答案：A. 質量流量控制器（MFC）

質量流量控制器是以感測器量測氣體的質量流量，並調整內建的閥門使其維持在設定值的設備。在具代表性的熱式中，是根據流經細管的氣體所帶走的熱量差來求得流量。流量的單位常使用sccm（標準狀態下每分鐘的cm³）。成膜速率、薄膜組成、蝕刻選擇比都會因流量而大幅改變，因此每條氣體管線都設置MFC。

• A. 正確。是量測並控制流量的設備。
• B. 壓力計只量測壓力，不控制流量。
• C. 僅靠鋼瓶的閥門無法精密控制流量。