製程材料（氣體與藥液） 在磊晶成長或熱處理中，作為載氣或還原性環境所使用的氣體為下列何者？ A臭氧 B氫（H2） C氯 查看答案與解析 正確答案：B. 氫（H2） 氫被用作運送磊晶成長原料的載氣，以及在成長前於高溫下去除表面原生氧化膜的還原性環境。以氮稀釋數%氫氣的混合氣體（forming gas）進行退火，可用氫終結Si/SiO2界面的懸鍵，減少界面態。在空氣中達到約4%以上時有爆炸的危險，因此要在洩漏偵測的監控下使用。臭氧與氯是氧化性的氣體。