將導向自組裝（DSA）與EUV微影結合時，期待的效果下列何者正確？

正確答案：C. 以EUV製作的圖案作為導引，把圖案修整成規則週期，降低隨機變異造成的線寬與粗糙度變異

EUV微影每次曝光使用的光子數少，隨機變異（stochastics）會使線寬與線邊緣粗糙度出現變異。導向自組裝（DSA）中嵌段共聚物圖樣的週期由材料決定，因此以EUV製作的圖案為導引進行自組裝，可望修整這些變異。imec與英特爾等自2020年代前半起陸續報告成果，但把缺陷降到極低是量產的課題。

• A. 導引圖案以EUV曝光製作，仍需要光罩。
• B. DSA並不能解決光阻靈敏度或光源功率的問題。
• C. 正確。這是DSA的修整（rectification）用法。