Lithografie
Überprüfen Sie mit Multiple-Choice-Fragen die Grundlagen der Lithografie – die Auflösungsformel (k1·λ/NA), die EUV-Wellenlänge und Positivlack.
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Die Fragen zu diesem Thema folgen in Kürze.
Lithografie: Das Wichtigste
Die Lithografie überträgt mithilfe von Licht das Schaltungsmuster einer Maske (Retikel) auf den Fotolack auf dem Wafer. Sie ist der Schlüsselschritt, der die Grenze der Skalierung bestimmt, und Belichtungsanlagen gehören zu den modernsten Fertigungsanlagen der Halbleiterindustrie.
Die Auflösung verbessert sich mit kürzerer Wellenlänge λ und größerer numerischer Apertur NA. Für Spitzenprodukte werden Immersionslithografie mit ArF-Excimerlaser (193 nm) und EUV-Lithografie mit 13,5 nm Wellenlänge eingesetzt.
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