微影

在導向自組裝(DSA)中,主要決定嵌段共聚物自然形成之條紋週期的是下列何者?

  1. A嵌段共聚物的分子長度(分子量)
  2. B曝光機的光波長
  3. C光阻的顯影時間
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正確答案:A. 嵌段共聚物的分子長度(分子量)

嵌段共聚物是把兩種不同高分子鏈在末端連接的材料。經熱處理後,兩種嵌段想要分離,卻因彼此相連而無法分離太遠,於是形成週期由分子長度決定的圖樣。週期可由分子量調整,能做到多細則取決於表示分離強度的χ參數。導向自組裝(DSA)是以微影製作的導引圖案來對齊圖樣的位置與方向。

  • A. 正確。分子的大小決定週期。
  • B. 光波長決定的是導引圖案的解析度,不是條紋週期。
  • C. 自組裝的週期不由顯影條件決定。
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