微影
根據解析度公式 R = k1 × λ / NA，下列何者是提升解析度（縮小R）的正確方法？
- A縮短曝光波長，並加大數值孔徑（NA）
- B拉長曝光波長，並縮小NA
- C拉長曝光波長，並加大NA
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正確答案：A. 縮短曝光波長，並加大數值孔徑（NA）
由瑞利公式 R = k1·λ/NA 可知，要縮小R，須縮短波長λ、加大數值孔徑NA，並降低k1。光源依序朝短波長演進：g線（436 nm）、i線（365 nm）、KrF（248 nm）、ArF（193 nm）、EUV（13.5 nm），NA也從約0.3擴大到浸潤式的1.35。例如ArF浸潤式（NA 1.35、k1 0.27）的 R ≈ 39 nm，比這更細的間距就需要多重圖案化或EUV。