設備工程師
負責保養、故障排除與裝機，讓製造機台持續以規定性能運作的工程師。除了在晶圓廠工作，也有在設備商支援客戶工廠的工作型態。
工作內容
設備工程師的工作，是讓無塵室中的薄膜沉積機台、蝕刻機台、曝光機台、清洗機台與搬運系統等，持續以規定的性能運作。主要內容包括：有計畫地更換零件與清潔的定期保養（PM）、讓停機的機台恢復生產的故障排除，以及從新機台進廠到性能確認的裝機。機台的稼動率直接關係到工廠的產能，因此分析故障趨勢、防止再發的改善也很重要。除了在半導體公司的晶圓廠工作，也有人在設備商擔任現場服務工程師，在客戶的工廠負責機台的安裝與保養。
合作對象與處理的事物
在工廠中，每天都要與設定機台條件的製程工程師，以及操作機台的生產部門人員合作，也經常與提供零件和保養服務的設備商工程師往來。處理的事物包括：真空幫浦、產生電漿的射頻電源、控制氣體流量的質量流量控制器（MFC）、固定晶圓的靜電吸盤、搬運機械手臂等零件，以及機台記錄的日誌與警報。有些機台會使用具毒性或可燃性的特殊材料氣體與化學品，因此遵守安全程序是工作的前提。
需要的知識與技能
機台結合了機械、電機、真空、控制與化學，因此廣泛的基礎知識很有幫助，例如真空與電漿的基本、電路與控制、管路與氣體的處理，以及機台日誌的閱讀方法。故障排除時，需要能從症狀縮小可能原因的範圍，再逐一確認的邏輯判斷能力。作業前，必須確實遵守安全的基本規定，例如切斷能源、避免機台誤動作的上鎖掛籤（LOTO），以及確認 SDS（安全資料表）。
從哪裡開始學
先在「無塵室與製造設備」與「環境安全」領域，掌握工廠環境與安全的基本。接著依可能負責的機台，學習「蝕刻」「薄膜沉積（CVD與PVD）」「微影」等領域，了解機台是用來做什麼的，與製程工程師的溝通也會更順暢。機台使用的氣體與化學品整理在「製程材料（氣體與藥液）」，確認機台狀態與加工結果的方法則在「量測與分析」領域。整體製程流程可透過「完整掌握製造製程」課程確認。
應學習的領域
無塵室與製造設備 50題 環境安全 50題 蝕刻 50題 薄膜沉積（CVD與PVD） 50題 微影 52題 製程材料（氣體與藥液） 50題 量測與分析 50題
這個職務的基礎10題
從應學習的領域中選出10道基本題
推薦課程
常見術語
FOUP AMHS(自動化物料搬運系統) EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) 電漿 靜電吸盤 質量流量控制器(MFC) 腔體調適(Seasoning) 特殊材料氣體 廢氣處理設備 上鎖掛籤(LOTO) SDS(安全資料表)
常見問題
非理工背景或沒有經驗，可以成為設備工程師嗎？
一般來說，機械、電機、電子等知識對這個職務很有幫助，也有在其他產業做過廠務設備維護或機械保養的人，運用這些經驗轉入。有些公司會錄用沒有相關經驗的人並在內部培訓，但錄用條件依公司與時期而不同。先學習電路、真空的基礎與安全觀念，進公司後會更快理解工作內容。
半導體公司的設備工程師，和設備商的現場服務工程師有什麼不同？
半導體公司的設備工程師，負責維持自家工廠中多種機台的運作，避免生產中斷。設備商的現場服務工程師，則是熟悉自家機台的專家，在客戶的工廠進行安裝、裝機、保養與故障排除，因此多半需要到所負責客戶的工廠工作。具體的工作方式依公司而不同。
需要什麼證照嗎？
一般來說，成為設備工程師並沒有必備的執照或證照。不過，依所處理的設備、氣體與作業內容，有時法規或公司規定會要求接受特定訓練或取得資格。需要哪些依國家與職場而不同，請向所屬單位確認。