装置エンジニア(設備エンジニア)
製造装置を決められた性能で動かし続けるために、保守・故障対応・立ち上げを担う技術者です。工場側のほか、装置メーカーで顧客の工場を支える働き方もあります。
仕事の内容
装置エンジニアは、クリーンルームにある成膜装置、エッチング装置、露光装置、洗浄装置、搬送システムなどが、決められた性能で動き続けるようにする仕事です。部品の交換や清掃を計画的に行う定期保守、止まった装置を復旧させる故障対応、新しい装置の搬入から性能確認までの立ち上げが主な内容です。装置の稼働率は工場の生産量に直結するため、故障の傾向を調べて再発を防ぐ改善も重要です。半導体メーカーの工場で働くほか、装置メーカーのフィールドサービスとして、顧客の工場で装置の据え付けや保守を担う働き方もあります。
一緒に働く人・扱うもの
工場では、装置の条件を決めるプロセスエンジニアや、装置を動かす製造部門の担当者と日常的に連携します。部品や保守サービスを提供する装置メーカーの技術者とやりとりすることも多くあります。扱うものは、真空ポンプ、プラズマを作る高周波電源、ガスの流量を制御するマスフローコントローラ(MFC)、ウエハを保持する静電チャック、搬送ロボットなどの部品と、装置が記録するログやアラームです。毒性や可燃性のある特殊材料ガスや薬液を使う装置もあるため、安全の手順を守ることが仕事の前提になります。
求められる知識とスキル
装置は、機械・電気・真空・制御・化学が組み合わさったものなので、幅広い基礎知識が役立ちます。真空とプラズマの基本、電気回路と制御、配管とガスの扱い、装置のログの読み方などです。故障対応では、症状から原因の候補を絞り込み、順に確かめていく論理的な切り分けが求められます。作業の前には、エネルギー源を遮断して装置が誤って動かないようにするロックアウト・タグアウト(LOTO)や、SDS(安全データシート)の確認など、安全の基本を確実に守る姿勢が欠かせません。
学び始めるなら
まずは『クリーンルーム・製造装置』と『環境安全』の分野で、工場の環境と安全の基本を押さえましょう。そのうえで、担当しそうな装置に合わせて『エッチング』『成膜(CVD・PVD)』『リソグラフィ』の分野を学ぶと、装置が何をするための機械なのかが分かり、プロセスエンジニアとの会話もスムーズになります。装置が使うガスや薬液は『プロセス材料(ガス・薬液)』、装置の状態や加工の結果を確かめる方法は『計測・分析』の分野にまとまっています。工程の流れ全体は『製造プロセスを一通り』コースで確認できます。
学んでおきたい分野
クリーンルーム・製造装置 50問 環境安全 50問 エッチング 50問 成膜(CVD・PVD) 50問 リソグラフィ 52問 プロセス材料(ガス・薬液) 50問 計測・分析 50問
この職種の基礎10問
学んでおきたい分野から、基本の問題を10問選びました
おすすめの学習コース
よく出てくる用語
FOUP AMHS(自動搬送システム) EFEM FFU(ファンフィルタユニット) プラズマ 静電チャック マスフローコントローラ(MFC) シーズニング 特殊材料ガス 除害装置 ロックアウト・タグアウト(LOTO) SDS(安全データシート)
よくある質問
文系や未経験から装置エンジニアになれますか？
一般に、機械・電気・電子などの知識が役立つ職種ですが、半導体以外の業界で設備の保全や機械の保守を経験した人が、その経験を生かして移ることもあります。未経験者を採用して社内教育で育てる会社もありますが、採用の条件は会社や時期によって異なります。電気回路や真空の基礎、安全の考え方を学んでおくと、入社後の理解が早くなります。
半導体メーカーの装置エンジニアと、装置メーカーのフィールドサービスはどう違いますか？
半導体メーカーの装置エンジニアは、自社の工場にある多くの種類の装置を、生産を止めないように維持する立場です。装置メーカーのフィールドサービスは、自社製品の装置に詳しい専門家として、顧客の工場で据え付け・立ち上げ・保守・故障対応を行います。後者は、担当する顧客の工場に出向いて働くことが多くなります。具体的な働き方は会社によって異なります。
必要な資格はありますか？
一般に、装置エンジニアになるために必須の免許や資格はありません。ただし、扱う設備やガス、作業の内容によっては、法令や社内の規則で決められた講習の受講や資格が必要になる場合があります。何が求められるかは国や職場によって異なるため、配属先で確認してください。