超格子란?
ちょうこうし
異なる材料の層を数nm程度の厚さで交互に積み重ねた周期的な構造。本来の結晶にない電子的な性質が現れ、レーザーやバッファ層などに使われる。
일본어 명칭: 超格子
분야: 에피택셜 성장
ちょうこうし
異なる材料の層を数nm程度の厚さで交互に積み重ねた周期的な構造。本来の結晶にない電子的な性質が現れ、レーザーやバッファ層などに使われる。
일본어 명칭: 超格子
분야: 에피택셜 성장
4H-SiC 格子不整合 貫通転位 臨界膜厚 選択エピタキシャル成長 積層欠陥 横方向エピタキシャル成長(ELO) HVPE(ハイドライド気相成長) MBE(分子線エピタキシー) MOCVD(有機金属気相成長)