基板と成長膜の格子定数の差(格子不整合)が大きいときに起こりやすい問題はどれか。

正解：A. ミスフィット転位などの結晶欠陥が発生する

格子定数が異なる材料を成長させると、膜にひずみがたまり、ある厚さ(臨界膜厚)を超えると、ひずみを緩和するためにミスフィット転位などの欠陥が発生します。欠陥はデバイスの特性や信頼性を下げるため、間にバッファ層をはさむなどの工夫が行われます。