容量結合型などのプラズマ装置で、ウエハ側の電極が自然に負の直流電位をもち、イオンをウエハに向けて加速する現象を何と呼ぶか。

正解：C. セルフバイアス(自己バイアス)

高周波電力をかけた電極では、軽く動きやすい電子の方が電極に多く流れ込むため、電極は平均して負の直流電位(セルフバイアス)をもちます。この電位差で、プラズマ中の正イオンが電極上のウエハに向かって加速され、異方性のエッチングに使われます。

• A. ホール効果は磁界中で電流と直角方向に電圧が生じる現象です。
• B. ゼーベック効果は温度差で電圧が生じる現象です。
• C. 正しい。電子の流れ込みの差で負の電位が生じる現象です。