リソグラフィ

微細なパターンをもつ型(モールド)をレジストに押し付けて、パターンを転写する技術を何と呼ぶか。

  1. A電子線描画
  2. BEUV露光
  3. Cナノインプリントリソグラフィ
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正解:C. ナノインプリントリソグラフィ

ナノインプリントリソグラフィは、凹凸のパターンをもつ型をレジストに押し当て、紫外線や熱で固めて形を写し取る技術です。高価な光学系が不要でコストを抑えられる可能性があり、一部のメモリ製造などで実用化が進められています。

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