エッチング
エッチング速度が100 nm/minの条件で3分間エッチングしたとき、削れる膜の厚さはいくらか。
- A約3,000 nm
- B約33 nm
- C約300 nm
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正解：C. 約300 nm
削れる厚さは、エッチング速度 × 時間 = 100 nm/min × 3 min = 300 nm です。実際には膜厚のばらつきなどを考えて、終点の後に少し追加でエッチングします。
- A. 約3,000 nmは1桁大きすぎます。
- B. 約33 nmは100を3で割った値です。
- C. 正しい。100 × 3 = 300 nm です。