終点検出란?
しゅうてんけんしゅつ
エッチングなどで、目的の膜を削り終えた時点を検出すること。プラズマの発光スペクトルの変化を監視する方法がよく使われる。
일본어 명칭: 終点検出
분야: 식각
관련 용어
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果
しゅうてんけんしゅつ
エッチングなどで、目的の膜を削り終えた時点を検出すること。プラズマの発光スペクトルの変化を監視する方法がよく使われる。
일본어 명칭: 終点検出
분야: 식각
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果