歩留まり・品質管理

前の工程の計測結果などをもとに、次のロットやウエハの装置の加工条件を自動で補正する制御はどれか。

  1. AFMEA
  2. Bパレート分析
  3. CAPC(Run-to-Run制御など)
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正解：C. APC(Run-to-Run制御など)

APC(Advanced Process Control)は、計測データを使って装置の条件を自動で調整し、工程のばらつきを小さくする制御です。例えば、前の工程の膜厚の測定値からエッチングやCMPの時間を補正します。管理図で監視するSPCに加え、積極的に補正する手法として使われています。

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