APC(先進的プロセス制御)란?
えーぴーしー
前の工程の計測結果などをもとに、次のロットやウエハの装置の加工条件を自動で補正する制御。Run-to-Run制御などがあり、ばらつきを小さくする。
일본어 명칭: APC(先進的プロセス制御)
분야: 수율과 품질 관리
관련 용어
工程能力指数(Cpk) 管理図 特性要因図 歩留まり FMEA(故障モード影響解析) SPC(統計的工程管理) キラー欠陥 システマティック不良 パレート図 ポアソン歩留まりモデル
えーぴーしー
前の工程の計測結果などをもとに、次のロットやウエハの装置の加工条件を自動で補正する制御。Run-to-Run制御などがあり、ばらつきを小さくする。
일본어 명칭: APC(先進的プロセス制御)
분야: 수율과 품질 관리
工程能力指数(Cpk) 管理図 特性要因図 歩留まり FMEA(故障モード影響解析) SPC(統計的工程管理) キラー欠陥 システマティック不良 パレート図 ポアソン歩留まりモデル