계측과 분석

X선을 조사하여 방출되는 광전자의 에너지로부터 표면의 원소와 화학 결합 상태를 조사하는 분석법은?

  1. A원자간력현미경(AFM)
  2. BXPS(X선 광전자 분광법)
  3. C4탐침법
정답과 해설 보기

정답: B. XPS(X선 광전자 분광법)

XPS는 X선을 쏘아 표면에서 튀어나오는 광전자의 운동 에너지를 측정하고, 이로부터 구한 결합 에너지로 원소의 종류와 화학 결합 상태를 조사하는 방법입니다. 같은 Si라도 단체에서는 약 99 eV, SiO2에서는 약 103 eV로 값이 어긋나므로 산화 정도를 알 수 있습니다. 광전자는 수 nm 깊이에서만 나올 수 있으므로 박막, 계면, 표면 처리의 평가에 적합합니다. AFM은 형상을, 4탐침법은 저항을 측정합니다.

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