計測・分析 MOSキャパシタのC-V(容量-電圧)測定から評価できるものとして正しいものはどれか。 Aパターンの線幅 B酸化膜厚、界面準位、基板の不純物濃度など Cウエハ表面の異物の数 答えと解説を見る 正解：B. 酸化膜厚、界面準位、基板の不純物濃度など MOSキャパシタに加える電圧を変えながら容量を測ると、蓄積・空乏・反転の状態に応じて容量が変化します。その曲線から、酸化膜厚、フラットバンド電圧、界面準位密度、基板の不純物濃度などを評価できます。ゲート絶縁膜の品質評価の基本的な手法です。