계측과 분석
원자간력현미경(AFM)으로 주로 측정하는 것은?
- A면저항(시트 저항)
- B불순물 농도의 깊이 방향 분포
- C표면의 미세한 요철(형상이나 거칠기)
정답과 해설 보기
정답: C. 표면의 미세한 요철(형상이나 거칠기)
AFM은 끝이 뾰족한 탐침이 달린 판 스프링(캔틸레버)으로 표면을 훑으며, 원자간력에 의한 휨을 레이저 반사로 검출하면서 주사하여 표면의 요철을 측정합니다. 높이 방향으로는 0.1 nm 정도의 차이도 측정할 수 있어, CMP 후의 표면 거칠기나 박막의 표면 상태 평가에 사용됩니다. 탐침을 진동시켜 가볍게 접촉하는 탭핑 모드를 사용하면 시료가 손상되기 어렵습니다. 면저항이나 도펀트 분포는 다른 기법으로 측정합니다.