先端トランジスタ(FinFET・GAA)
CFET(相補型FET)で、上下に積み重ねたトランジスタのうち下段のトランジスタへの接続について正しいものはどれか。
- A下段のトランジスタはゲートをもたないため、ソースとドレインだけに接続すればよい
- B真上に上段のトランジスタがあるため、表面側からは上段を避けて接続を通す必要があり、裏面から下段に直接接続する方式が検討されている
- C上下のトランジスタはソースとドレインをすべて共有するため、下段に個別の接続は必要ない
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正解：B. 真上に上段のトランジスタがあるため、表面側からは上段を避けて接続を通す必要があり、裏面から下段に直接接続する方式が検討されている
CFET(相補型FET)は、nMOSとpMOSを上下に積み重ねてセルの面積を縮める構造です。上下のゲートや出力は共有できますが、それぞれのソースは別の電源(VDDとVSS)につなぐ必要があります。表面側から下段に接続するには、上段のトランジスタを避けてコンタクトを深く通さなければならず、狭いセルの中で配線が混雑します。そこで、ウエハの裏面から下段に直接接続し、裏面電源供給と組み合わせる方式が検討されており、2023年のIEDMでは、Intelが裏面から下段に直接接続したCFETのインバータの動作を報告しています。
- A. 下段のトランジスタにもゲートがあり、上段と共有することが多いです。
- B. 正しい。下段への接続が配線のボトルネックになります。
- C. インバータでも、nMOSとpMOSのソースは別々の電源につなぎます。