박막 증착(CVD와 PVD)

실리콘 산화막 CVD의 원료로 널리 사용되는 액체 유기 실리콘 화합물은 무엇인가?

  1. A육불화텅스텐(WF6)
  2. BTEOS(테트라에톡시실레인)
  3. C트리메틸갈륨
정답과 해설 보기

정답: B. TEOS(테트라에톡시실레인)

TEOS(Si(OC2H5)4)는 상온에서 액체인 유기 실리콘 화합물로, 기화시켜 CVD 원료로 사용합니다. 자연 발화하는 실레인에 비해 안전하게 다루기 쉽고, 표면에서 분해되기 쉬워 돌아 들어가는 성질이 좋아 스텝 커버리지가 좋은 산화막을 얻을 수 있습니다. 열 CVD(약 700 ℃), 플라즈마 CVD(약 400 ℃), 오존과 조합한 상압 CVD 등 방식도 다양하며, 층간 절연막, 사이드월 등에 널리 사용됩니다.

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