先端技術(3D実装・チップレット)
ハイブリッドボンディングの説明として正しいものはどれか。
- Aはんだバンプを大きくして接続の信頼性を高める技術
- Bワイヤを2本ずつ使って接続する技術
- Cバンプを使わず、銅電極と絶縁膜の面どうしを直接接合して、極めて高密度に接続する技術
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正解:C. バンプを使わず、銅電極と絶縁膜の面どうしを直接接合して、極めて高密度に接続する技術
ハイブリッドボンディングは、チップやウエハの表面を平坦にし、銅の電極どうしと絶縁膜どうしを同時に直接接合する技術です。はんだバンプを使わないため、接続のピッチを数µm程度まで狭くでき、積層型のイメージセンサや先端のチップ積層に使われています。