Qu'est-ce que Carte à pointes (probe card) ?

Réponse : C. Un outillage qui met des pointes en contact avec les électrodes des puces du wafer et les relie électriquement au testeur

La carte à pointes est un outillage dédié à chaque produit, portant de nombreuses pointes disposées selon l'implantation des plots d'électrode de la puce. Le prober aligne le wafer à l'aide d'une caméra, puis soulève le chuck pour mettre les pointes en contact avec les plots, reliant électriquement le testeur à la puce. Les types de pointes comprennent les pointes inclinées en porte-à-faux (cantilever), les pointes verticales et les pointes fabriquées par technologie MEMS. Il ne s'agit ni d'un moule d'encapsulation ni d'un conteneur de transport.

Réponse : B. Sur les plots d'électrode de la puce

Lors du test sur wafer, les nombreuses pointes de la carte à pointes sont mises en contact avec les plots d'électrode disposés, par exemple, en périphérie de chaque puce, et le testeur applique alimentation et signaux pour mesurer la réponse. Les plots sont des électrodes de quelques dizaines de µm de côté, qui servent aussi ensuite au wire bonding ou à la connexion des bumps. La taille et la position des traces de pointes sont également contrôlées afin qu'elles ne gênent pas la liaison. Les transistors se trouvent sous les couches d'interconnexion et ne sont pas directement accessibles.