Testen en inspectie
Wat is het belangrijkste voordeel van de verticale uitvoering van de probe card, waarbij de naalden loodrecht ten opzichte van de pads zijn geplaatst?
- ADe wafer kan niet worden verwarmd
- BHet is eenvoudiger om te voldoen aan een groot aantal pennen en kleine pitch voor het gelijktijdig meten van veel chips, en aan pads die in een array zijn geplaatst
- CEr kan slechts één naald worden gebruikt
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Het is eenvoudiger om te voldoen aan een groot aantal pennen en kleine pitch voor het gelijktijdig meten van veel chips, en aan pads die in een array zijn geplaatst
De conventionele cantilever-uitvoering raakt de pads met schuine naalden die van opzij komen en was geschikt voor pads langs de rand van de chip. Verticale probes en MEMS-probes kunnen de naalden dicht in een raster plaatsen en zijn daarom geschikt voor producten met veel pennen en pads over het hele chipoppervlak, en voor het gelijktijdig meten van veel chips. Omdat de naalden verticaal bewegen, kan ook de naaldafdruk klein blijven. Of verwarmen mogelijk is, wordt bepaald door de chuck van de prober.