Internationale norm die de reinheidsklassen van cleanrooms vastlegt aan de hand van het aantal deeltjes in de lucht. Hoe lager het getal, hoe schoner.
Japanse benaming: ISO 14644-1
“ISO 14644-1” komt voor in 3 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Cleanroom en productieapparatuur.
Vakgebied: Cleanroom en productieapparatuur
Antwoord: A. ISO-klasse 5
Klasse 100 van de oude Amerikaanse federale norm betekent ten hoogste 100 deeltjes van 0,5 µm of groter per kubieke voet (circa 28,3 L), omgerekend circa 3500 per m³. De bovengrens voor 0,5 µm of groter bij klasse 5 van ISO 14644-1 is 3520 per m³, zodat ze vrijwel overeenkomen. Bij elke ISO-klasse lager wordt het toegestane aantal deeltjes een tiende, zodat klasse 1 zeer streng is en klasse 9 ongeveer overeenkomt met een gewone ruimte.
Antwoord: C. Bij elke klasse N lager wordt het toegestane aantal deeltjes ongeveer een tiende
In ISO 14644-1 is voor ISO-klasse N de bovengrens van het aantal deeltjes van 0,1 µm of groter per m³ vastgelegd als 10 tot de macht N (de bovengrenzen voor andere deeltjesgroottes volgen uit een formule). Klasse 5 is bijvoorbeeld 100.000 en klasse 4 10.000, en hoe kleiner het getal, des te hoger de reinheid. De klasse wordt bepaald door de aantalconcentratie en niet door het gewicht. Bij geavanceerde fabrieken is in de ruimte waarmee wafers in aanraking komen circa klasse 1 tot 3 vereist.
De bovengrens voor 0,5 µm of groter bij klasse 5 van ISO 14644-1 is 3520 per m³, zodat ze vrijwel overeenkomen.
Welke ISO 14644-1-reinheidsklasse komt overeen met klasse 1…In ISO 14644-1 is voor ISO-klasse N de bovengrens van het aantal deeltjes van 0,1 µm of groter per m³ vastgelegd als 10 tot de macht N (de bovengrenzen voor andere deeltjesgroottes volgen uit een formule).
Welke uitspraak over de reinheidsklassen van ISO 14644-1 is…In de internationale norm ISO 14644-1 wordt op basis van het aantal deeltjes per m³ ingedeeld in klassen 1 tot 9, waarbij een lager getal schoner is.
Waardoor wordt de reinheid van een cleanroom in het algemee…Downflow EFEM FFU (fan filter unit) FOUP HEPA-filter Mini-environment Moleculaire verontreiniging (AMC) OHT (overhead hoist transport) ULPA-filter