Wat is Mini-environment?

Principe waarbij alleen de kleine ruimte rondom de wafer op hoge reinheid wordt gehouden. Door een gesloten container zoals de FOUP te combineren met de EFEM aan de voorzijde van de apparatuur worden de eisen aan de reinheid van de hele ruimte lager en de kosten beperkt.

Japanse benaming: ミニエンバイロメント