Cleanroom en productieapparatuur

Welke ISO 14644-1-reinheidsklasse komt overeen met klasse 100 van de oude Amerikaanse federale norm (ten hoogste 100 deeltjes van 0,5 µm of groter per kubieke voet)?

  1. AISO-klasse 5
  2. BISO-klasse 1
  3. CISO-klasse 9
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. ISO-klasse 5

Klasse 100 van de oude Amerikaanse federale norm betekent ten hoogste 100 deeltjes van 0,5 µm of groter per kubieke voet (circa 28,3 L), omgerekend circa 3500 per m³. De bovengrens voor 0,5 µm of groter bij klasse 5 van ISO 14644-1 is 3520 per m³, zodat ze vrijwel overeenkomen. Bij elke ISO-klasse lager wordt het toegestane aantal deeltjes een tiende, zodat klasse 1 zeer streng is en klasse 9 ongeveer overeenkomt met een gewone ruimte.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Wat is de gebruikelijke richtwaarde voor de luchtsnelheid uit het plafond in een cleanroom met downflow?
  2. Hoe wordt in een cleanroom volgens de bay-chase-methode de reinheid van de onderhoudsruimte (chase) achter de apparatuur gewoonlijk behandeld?
  3. Welk element, afgegeven door onder meer glasvezelfilters, kan ongewenste doping (verontreiniging) van wafers veroorzaken?
  4. Welke waarde benadert de gebruikelijke ingestelde temperatuur van een cleanroom het best?
  5. Welk apparaat wordt gebruikt om het aantal en de grootte van fijne deeltjes in de lucht van een cleanroom te meten?