Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Welke uitspraak over de reinheidsklassen van ISO 14644-1 is juist?

  1. AHoe groter het getal, des te hoger de reinheid
  2. BZe worden niet door het aantal deeltjes bepaald maar door het gewicht van de deeltjes
  3. CBij elke klasse N lager wordt het toegestane aantal deeltjes ongeveer een tiende
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Bij elke klasse N lager wordt het toegestane aantal deeltjes ongeveer een tiende

In ISO 14644-1 is voor ISO-klasse N de bovengrens van het aantal deeltjes van 0,1 µm of groter per m³ vastgelegd als 10 tot de macht N (de bovengrenzen voor andere deeltjesgroottes volgen uit een formule). Klasse 5 is bijvoorbeeld 100.000 en klasse 4 10.000, en hoe kleiner het getal, des te hoger de reinheid. De klasse wordt bepaald door de aantalconcentratie en niet door het gewicht. Bij geavanceerde fabrieken is in de ruimte waarmee wafers in aanraking komen circa klasse 1 tot 3 vereist.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welke cleanroommethode houdt de reinheid in stand door schone lucht uit een deel van het plafond te blazen en met de lucht in de ruimte te mengen en te verdunnen? De reinheid is lager dan bij unidirectionele stroming, maar de installatiekosten zijn laag.
  2. Welk filter wordt gebruikt om moleculaire verontreinigingen (AMC) zoals ammoniak en organische stoffen uit de lucht van een cleanroom te verwijderen?
  3. Welk apparaat in de luchtbehandeling van een cleanroom verwijdert stof uit de aangevoerde buitenlucht, regelt temperatuur en vochtigheid en voert die vervolgens toe aan de circulatielucht in de ruimte?
  4. Welk geautomatiseerd magazijn in het geautomatiseerde transportsysteem van een halfgeleiderfabriek slaat FOUP's tijdelijk op totdat ze naar de volgende processtap gaan?
  5. Welke combinatie van benamingen voor het transport tussen bays en het transport tussen apparatuur binnen een bay in het geautomatiseerde transport van een fabriek met bays is juist?