Was ist ISO 14644-1?
Internationale Norm, die Reinraum-Reinheitsklassen anhand der Anzahl luftgetragener Partikel festlegt. Je kleiner die Zahl, desto sauberer.
Japanische Bezeichnung: ISO 14644-1
Fachgebiet: Reinräume und Anlagen
Verwandte Begriffe
EFEM (Equipment Front End Module) FFU (Ventilator-Filter-Einheit) FOUP HEPA-Filter Mini-Environment (Minienvironment) Molekulare Kontamination in der Luft (AMC) OHT (Deckentransportsystem) ULPA-Filter Vertikalströmung (downflow)