Cleanroom en productieapparatuur

Waardoor wordt de reinheid van een cleanroom in het algemeen uitgedrukt?

  1. AHet aantal deeltjes van een bepaalde grootte of groter per vast luchtvolume
  2. BDe temperatuur en luchtvochtigheid in de ruimte
  3. CDe helderheid van de verlichting
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Het aantal deeltjes van een bepaalde grootte of groter per vast luchtvolume

De reinheid van een cleanroom wordt uitgedrukt als het aantal deeltjes van een bepaalde grootte of groter in een vast luchtvolume. In de internationale norm ISO 14644-1 wordt op basis van het aantal deeltjes per m³ ingedeeld in klassen 1 tot 9, waarbij een lager getal schoner is. Bij klasse 5 zijn bijvoorbeeld ten hoogste 100.000 deeltjes van 0,1 µm of groter per m³ toegestaan. Lucht in een gewone ruimte komt overeen met circa klasse 9. Temperatuur, luchtvochtigheid en verlichting worden ook beheerd, maar zijn geen maat voor reinheid.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Wat is de belangrijkste reden dat in het lithografiegebied gele verlichting wordt gebruikt?
  2. Welke uitspraak over de FOUP is juist?
  3. Wat is het belangrijkste doel van de methode (downflow) in een cleanroom waarbij lucht in één richting van plafond naar vloer stroomt?
  4. Welk hoogwaardig filter wordt gebruikt om fijne deeltjes uit de lucht van een cleanroom te verwijderen?
  5. Hoe heet het concept waarbij alleen de kleine ruimte rond de wafers op een hoge reinheid wordt gehouden?