Was ist HEPA-Filter?
Hocheffizienter Luftfilter, der mindestens 99,97 % der Partikel von 0,3 µm abscheidet. Filter, die noch feinere Partikel abscheiden, sind ULPA-Filter.
Japanische Bezeichnung: HEPAフィルタ
Fachgebiet: Reinräume und Anlagen
Verwandte Begriffe
EFEM (Equipment Front End Module) FFU (Ventilator-Filter-Einheit) FOUP ISO 14644-1 Mini-Environment (Minienvironment) Molekulare Kontamination in der Luft (AMC) OHT (Deckentransportsystem) ULPA-Filter Vertikalströmung (downflow)