ゲッタリング란?

げったりんぐ

ウエハの中の金属不純物を、素子をつくる表面から離れた場所に集めて捕らえる技術。酸素析出物などを利用する。

일본어 명칭: ゲッタリング

분야: 실리콘 웨이퍼