Wat is Floating gate?
Elektrode in een flashgeheugencel die rondom door een isolatiefilm is omgeven. Elektronen die hier worden opgeslagen veranderen de drempelspanning van de transistor, waardoor de gegevens ook zonder voeding behouden blijven.
Japanse benaming: フローティングゲート
“Floating gate” komt voor in 8 oefenvragen uit 3 onderwerpen, bijv. SRAM en flashgeheugen, DRAM, Oxidatie en diffusie.
Vakgebied: SRAM en flashgeheugen
Opbouw van de cel
Een flashcel met floating gate is een MOSFET met twee gestapelde gates. De onderste, de floating gate, is meestal van polysilicium en volledig geïsoleerd: een dun tunneloxide scheidt hem van het kanaal, en een inter-poly-diëlektricum scheidt hem van de control gate erboven. Het inter-poly-diëlektricum is doorgaans een ONO-stapel (oxide/nitride/oxide), omdat thermisch gegroeid oxide op gedoteerd polysilicium ruw is en een lagere doorslagsterkte heeft. De control gate is capacitief gekoppeld aan de floating gate, zodat de spanning op de floating gate een fractie is van de spanning op de control gate, bepaald door de koppelingsverhouding (coupling ratio).
Programmeren en wissen
Omdat de floating gate geen elektrisch contact heeft, moet de lading een isolator oversteken. Fowler-Nordheim-tunneling, aangedreven door een sterk veld over het tunneloxide bij een hoge spanning op de control gate of het substraat, wordt in NAND zowel voor programmeren als voor wissen gebruikt. NOR-flash programmeert doorgaans met channel hot-electron injection, waarbij elektronen die bij de drain worden versneld genoeg energie krijgen om de oxidebarrière te overwinnen. Omdat de omringende isolatoren dik genoeg zijn om lekkage bij normale spanningen te blokkeren, blijft de lading zonder voeding ongeveer tien jaar behouden. Herhaald cyclen beschadigt het tunneloxide geleidelijk, wat de endurance beperkt.
Veelgestelde vragen
Waarom behoudt een floating gate data zonder voeding?
De floating gate is volledig omgeven door isolatoren die elektronen bij normale bedrijfsspanningen niet kunnen oversteken, zodat geïnjecteerde lading jarenlang gevangen blijft. Alleen hoge programmeer- of wisspanningen laten de lading door het oxide tunnelen.
Wat gebeurt er met de drempelspanning als een flashcel wordt geprogrammeerd?
Programmeren voegt elektronen toe aan de floating gate, en hun negatieve lading verhoogt de drempelspanning. Wissen verwijdert ze en verlaagt de drempel weer.
Wat is het verschil tussen een floating gate en een charge trap?
Een floating gate is een geleidende elektrode van polysilicium die lading verdeeld over zich vasthoudt, terwijl een charge-trapcel lading opslaat in gelokaliseerde traps in een isolerende laag siliciumnitride. Charge trapping is toleranter voor enkele oxidedefecten en makkelijker te bouwen in 3D NAND.