Wat is Floating gate?

Elektrode in een flashgeheugencel die rondom door een isolatiefilm is omgeven. Elektronen die hier worden opgeslagen veranderen de drempelspanning van de transistor, waardoor de gegevens ook zonder voeding behouden blijven.

Japanse benaming: フローティングゲート

“Floating gate” komt voor in 8 oefenvragen uit 3 onderwerpen, bijv. SRAM en flashgeheugen, DRAM, Oxidatie en diffusie.

Vakgebied: SRAM en flashgeheugen

Opbouw van de cel

Een flashcel met floating gate is een MOSFET met twee gestapelde gates. De onderste, de floating gate, is meestal van polysilicium en volledig geïsoleerd: een dun tunneloxide scheidt hem van het kanaal, en een inter-poly-diëlektricum scheidt hem van de control gate erboven. Het inter-poly-diëlektricum is doorgaans een ONO-stapel (oxide/nitride/oxide), omdat thermisch gegroeid oxide op gedoteerd polysilicium ruw is en een lagere doorslagsterkte heeft. De control gate is capacitief gekoppeld aan de floating gate, zodat de spanning op de floating gate een fractie is van de spanning op de control gate, bepaald door de koppelingsverhouding (coupling ratio).

Hoe opgeslagen lading de drempel verschuift

Elektronen op de floating gate vormen negatieve lading die een deel van de control-gatespanning opheft, zodat een hogere spanning nodig is om het kanaal te inverteren en de drempelspanning stijgt. Programmeren voegt elektronen toe en verhoogt de drempel; wissen verwijdert ze en verlaagt hem. Bij het lezen wordt een vaste spanning tussen de twee drempelniveaus aangelegd en gecontroleerd of er stroom loopt. In NAND wordt de gewiste toestand met lage drempel volgens conventie als 1 gelezen, zodat gewiste flash als 0xFF wordt gelezen. Multi-level cells verdelen het drempelvenster in meer niveaus om meerdere bits per cel op te slaan.

Programmeren en wissen

Omdat de floating gate geen elektrisch contact heeft, moet de lading een isolator oversteken. Fowler-Nordheim-tunneling, aangedreven door een sterk veld over het tunneloxide bij een hoge spanning op de control gate of het substraat, wordt in NAND zowel voor programmeren als voor wissen gebruikt. NOR-flash programmeert doorgaans met channel hot-electron injection, waarbij elektronen die bij de drain worden versneld genoeg energie krijgen om de oxidebarrière te overwinnen. Omdat de omringende isolatoren dik genoeg zijn om lekkage bij normale spanningen te blokkeren, blijft de lading zonder voeding ongeveer tien jaar behouden. Herhaald cyclen beschadigt het tunneloxide geleidelijk, wat de endurance beperkt.

Floating gate versus charge trap

Een geleidende floating gate verdeelt zijn lading over de hele elektrode, zodat één lekpad door een defect in het tunneloxide alles kan laten weglekken, en dicht opeengepakte floating gates zijn capacitief gekoppeld aan hun buren. Charge-trapcellen slaan elektronen daarentegen op in traps in een isolerende laag siliciumnitride, waar de lading gelokaliseerd blijft. De SiO2/SiN/SiO2-stapel kan doorlopend op de wanden van verticale kanaalgaten worden gedeponeerd, en daarom wordt charge trapping veel gebruikt in 3D NAND, terwijl floating gates de planaire flash domineerden.

Nu oefenen: vragen over Floating gate

Wat gebeurt er met de drempelspanning van de cel wanneer bij het wissen van flashgeheugen elektronen uit bijvoorbeeld de floating gate worden getrokken?

  1. ADeze wordt hoger
  2. BDeze wordt lager
  3. CDeze verandert niet
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Deze wordt lager

Wanneer er elektronen (negatieve lading) in de floating gate zitten, wordt een deel van de gatespanning opgeheven en is een grotere spanning nodig om het kanaal te vormen, zodat de drempelspanning hoger is. Door bij het wissen elektronen weg te halen, wordt de drempelspanning lager, en door bij het schrijven elektronen te injecteren, hoger. Bij NAND wordt de gewiste toestand (lage drempel) in het algemeen als “1” en de geschreven toestand als “0” genomen, en daarom is de inhoud van gewist flash 0xFF.

Veelgestelde vragen

Waarom behoudt een floating gate data zonder voeding?

De floating gate is volledig omgeven door isolatoren die elektronen bij normale bedrijfsspanningen niet kunnen oversteken, zodat geïnjecteerde lading jarenlang gevangen blijft. Alleen hoge programmeer- of wisspanningen laten de lading door het oxide tunnelen.

Wat gebeurt er met de drempelspanning als een flashcel wordt geprogrammeerd?

Programmeren voegt elektronen toe aan de floating gate, en hun negatieve lading verhoogt de drempelspanning. Wissen verwijdert ze en verlaagt de drempel weer.

Wat is het verschil tussen een floating gate en een charge trap?

Een floating gate is een geleidende elektrode van polysilicium die lading verdeeld over zich vasthoudt, terwijl een charge-trapcel lading opslaat in gelokaliseerde traps in een isolerende laag siliciumnitride. Charge trapping is toleranter voor enkele oxidedefecten en makkelijker te bouwen in 3D NAND.

“Floating gate” in de toelichting

Vragen met “Floating gate” (8)

  1. Wat gebeurt er met de drempelspanning van de cel wanneer bij het wissen van flashgeheugen elektronen uit bijvoorbeeld de floating gate worden getrokken?
  2. Welke opbouw is juist voor een geheugencel van 1 bit van een gewoon DRAM?
  3. Welke combinatie van driedimensionale structuren wordt gebruikt om bij DRAM-cellen voldoende condensatorcapaciteit te behouden?
  4. Wat is het juiste principe van schrijven en wissen van gegevens in flashgeheugen?
  5. Welk materiaal wordt gewoonlijk gebruikt voor de laag die de lading opslaat in de ladingvangende (charge trap) cellen die veel in 3D-NAND worden gebruikt?
  6. Welk niet-vluchtig geheugen wordt al geruime tijd samen met de logica op dezelfde chip van een microcontroller geïntegreerd om het programma op te slaan?
  7. Welke uitspraak over de eigenschappen van flashgeheugen is juist?
  8. Welke eigenschap is juist bij thermische oxidatie van polykristallijn silicium (polysilicium) met veel onzuiverheden?

Verwante termen

Numerieke apertuur (NA) Drempelspanning (threshold voltage) Niet-vluchtig geheugen Aspectverhouding Microcontroller (MCU) High-k/metal gate MRAM ReRAM (resistief geheugen) Thermische oxidatie 3D NAND

Naar de woordenlijst