DRAM
Welke combinatie van driedimensionale structuren wordt gebruikt om bij DRAM-cellen voldoende condensatorcapaciteit te behouden?
- AFinvormig en planair
- BTrench-type en stack-type
- CFloating-gatetype en ladingtraptype
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Trench-type en stack-type
Om ook bij kleinere cellen een capaciteit van circa 10 fF te behouden, heeft DRAM de condensator driedimensionaal gemaakt. Er is het trench-type, waarbij een diepe sleuf in het substraat wordt gegraven, en het stack-type, waarbij hoge cilinders boven op de transistor worden gestapeld; momenteel is het stack-type de standaard. Bij geavanceerde producten hebben condensatoren een diameter van enkele tientallen nm en een hoogte van meer dan 1 µm, met een aspectverhouding van tientallen, en worden ze met ondersteunende lagen versterkt om omvallen te voorkomen. Floating gate en ladingtrap zijn structuren van flash.