Regeling die op basis van onder meer meetresultaten van het voorgaande proces automatisch de procescondities van de apparatuur voor de volgende lot of wafer corrigeert. Omvat onder meer run-to-run-regeling en verkleint de spreiding.
Japanse benaming: APC(先進的プロセス制御)
“APC (advanced process control)” komt voor in 3 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Opbrengst en kwaliteitsbeheersing, Metrologie en analyse.
Vakgebied: Opbrengst en kwaliteitsbeheersing
Antwoord: B. Automatische defectclassificatie (ADC)
Een defectinspectieapparaat kan op één wafer enkele duizenden defecten detecteren, en om de oorzaak van elk te onderzoeken is classificatie naar type nodig. Automatische defectclassificatie (ADC) classificeert uit beelden van de review-SEM automatisch naar deeltjes, patroondefecten, krassen enz., en versnelt zo het vaststellen van het veroorzakende proces of apparaat. Tegenwoordig wordt ook machine learning ingezet. ATPG is het genereren van testpatronen en APC de automatische procesregeling.
Antwoord: C. APC (zoals run-to-run-regeling)
APC (Advanced Process Control) is een regeling die met meetgegevens de voorwaarden van de apparatuur automatisch aanpast om de procesvariatie te verkleinen. Bij de gangbare run-to-run-regeling wordt bijvoorbeeld de tijd van de volgende CMP-stap verlengd als de in het voorgaande proces gemeten laagdikte te groot is. In tegenstelling tot SPC, dat afwijkingen bewaakt en stopt, corrigeert dit actief en brengt het naar het midden. FMEA wordt gebruikt voor risicobeoordeling vooraf en paretoanalyse voor het vinden van prioritaire items.
ATPG is het genereren van testpatronen en APC de automatische procesregeling.
Welke functie fotografeert bij inspectie gevonden defecten …APC (Advanced Process Control) is een regeling die met meetgegevens de voorwaarden van de apparatuur automatisch aanpast om de procesvariatie te verkleinen.
Welke regeling corrigeert automatisch de procesvoorwaarden …ATPG is patroongeneratie en APC is procesregeling.
Welke methode verwijdert chips als defect die weliswaar bin…ATPG (automatic test pattern generation) SEM (scanning-elektronenmicroscoop) Defectinspectieapparaat CMP SPC (statistische procesbeheersing) FMEA (failure mode and effects analysis) Risicobeoordeling (risk assessment) Killer defect Oorzaak-gevolgdiagram Opbrengst (yield)